用于谐波分离的三角形槽亚波长光栅误差分析

摘要

基于能够实现高功率固体激光驱动器中三种谐波的分离的三角形槽亚波长光栅设计参数，利用基于矢量衍射理论开发的商用软件Gsolver，分析光栅周期、入射角、占空比、刻槽深度等光栅参数对亚波长光栅谐波分离能力，即三倍频光衍射效率的影响。结合谐波分离的基本要求，给出了亚波长光栅的加工误差要求。为亚波长光栅应用于高功率固体激光驱动器谐波分离提供了理论支持。