准光学微波等离子体谐振腔的计算机模拟

摘要

微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)是制备高纯度金刚石薄膜的一种重要手段。对MPCVD装置的仿真与优化，可节约其设计和改进的时间。结合准光学理论提出了半球形微波等离子体谐振腔，通过高频结构仿真器HFSS计算电场强度分布，并与已有的椭球形微波等离子体谐振腔比较，发现这种新型的谐振腔有望用于制备大面积、高质量的金刚石薄膜。