AFM探针重定位系统H∞控制器设计与分析

摘要

分析了纳米重定位系统的常用重定位技术，建立了探针悬臂偏移量模型，探针针尖偏差前馈补偿和压电陶瓷H∞控制的模型。通过对其标准化，求出控制器K，并对其合理性进行分析。最后，进行计算机仿真，结果表明，所设计的系统具有良好的跟踪、重定位能力。