硅压力传感器的抗过载可靠性设计

摘要

通过测量硅膜片的结构设计和压力传感器外界保护结构设计,进而达到压力传感器过载保护的目的。差压传感器采用正负双腔和中心过载保护膜片联动保护的设计方案,即当过载压力达到超高差压之前,使高压侧膜片和基体贴合,低压侧膜片鼓出,阻止超高差压传递入传感器内;表压和绝压传感器则采用测量端和过载保护膜片联动的设计方案,即当过载压力达到超高压之前,使测量端膜片和基体贴合,过载保护膜片鼓起,阻止超高压传递入传感器内。