石英玻璃抛光质量对腐蚀形貌的影响

摘要

抛光后的石英玻璃表面光滑、平整，经过HF酸腐蚀后表面形貌变得凹凸不平。为了解释该现象，从Weyl的亚表面理论着手，借助研磨、抛光破坏层模型和微裂纹扩展模型，详细阐述了微裂纹的存在、变化机理。研磨、抛光后亚表面的微裂纹被认为是造成腐蚀形貌变坏的主要原因。通过不同时间抛光后的腐蚀形貌对比试验证实了该理论和模型。