激光原位统计分布分析技术

摘要

为解决非平面及小规格异型材料的解析,提出了以激光源为基础的原位统计分布分析技术,并自主开发了激光原位分析仪,采用非接触式的高功率激光作用于材料表面,产生高温等离子体,采集其发射光谱,进行色散分光,进而建立材料中各元素成分含量的定量模型;通过对多元素异常激光光谱信号的联合解析,快速准确分析夹杂物种类和含量;通过大尺度范围的的定位,实现元素成分和状态的原位统计分布分析表征,为新材料以及新工艺研究提供质量性能判据。