激光扫描测量系统精度的提高

摘要

本文介绍了提高激光扫描测量系统检测精度的设计方法。通过选择合适激光源，转镜、透镜组成激光扫描光路，采用DSP和CPLD为核心的信号处理电路，设计校对标准柱和补偿算法，来提高系统的整体测量精度。实验结果表明系统可以达到±3μm的测量精度。