微间隙静电放电中局部真空形成机理及影响·

摘要

微间隙放电中放电参数的速度效应是一个研究热点。本文从流体力学基本原理出发，提出：电板移动速度电极的快速向靶移动导致小间隙内局部真空的形成，并产生小间隙放电中电子雪崩过程向表面过程的过渡现象。对部分真空形成过程性质进行了分析，而且就部分真空形成对放电参数的影响依据理论进行了估算。