差动共焦光学参数检测方法

摘要

本文针对空间光学系统、高能激光系统、激光核聚变系统中对大型光学元件参数的高精度检测需求，提出一种新的激光差动共焦方法，该方法利用差动共焦显微技术轴向强度响应绝对零点精确对应物镜焦点这一特性进行高精度定焦，结合干涉测长、光线追迹等方法和相应的测量光路设计，实现超长焦距、曲率半径、透镜间隙、折射率等光学参数的高精度测量。