微系统集成与封装技术发展现状与趋势探讨

摘要

微系统原来是指MEMS（微机电系统），在欧洲被称为微系统，在美国被称为MEMS，在日本被称为微机器。本文在对比分析国内外技术发展差距的基础上，总结了国内制约微系统发展的主要问题，包括对微观性与系统性协同发展认识不足、需求超前探索力度不够、系统性研究不够、传统的微电子与MEMS研发水平落后、基础平台投入不足、技术攻关方向不够聚焦与明确、科技情报与技术发展战略研究力量不足等。最后，针对上述问题、未来技术发展趋势和我国国情提出了推动我国微系统技术发展的措施建议，包括加强科技情报与发展战略研究、加强需求牵引落实具体重大项目、创新微系统研发的合作模式、加强领军人才培养、创新项目运作管理模式等。