氦气流量校准装置的研究

摘要

本文分析了氦气流量校准装置的工作原理和结构，对系统的软、硬件及校准流程进行了讨论，提出并详细阐述了其计量容积的标定技术和计算方法，并在主标准器的结构设计上提出了新的思路，使装置的流量测量扩展不确定度最好可达0.03％(k=2)。