多晶硅还原沉积优化研究

摘要

针对改良西门子法工艺，通过软件模拟和生产实验研究相结合，探讨了三氯氢硅氢还原沉积工艺和沉积设备对多晶硅生产单位电耗等生产关键指标的影响，并对还原工艺优化提出了改进建议。