关于35nm带宽窄带滤光膜的研制

摘要

本文主要阐述的是在保证中心波长和峰值透过率的前提下,设计出符合带宽要求的窄带滤光膜.通过理论分析,了解产品对表征窄带滤光膜特性的三个参数进行了要求，首先是中心波长，λ0=1064nm±2nm，这个在设计时很容易控制，只要将膜系设计软件TFC中的参考波长设为1064即可;其次是峰值透过率，可以利用虚设层的概念来检验是否具有高峰值透过率;最后就是考虑带宽，可以参考公式，确定镀膜材料后，近似估计m,x的数值。选择高折射率材料Ta2O5，和低折射率材料SiO2，因为它们不仅具有较高的折射率比值，并且具有较好的抗激光性能，能够达到较宽的截止带，可以用一个截止带达到要求，降低了工艺的复杂程度，同时具有较好的工艺性。为了获得接近矩形的通带形状，采用全介质双半波滤光膜的形式，即由两个相同的法布里-拍路滤光膜串置组成。这种结构的滤光膜，在工艺上可以提高产品的容差性，从而提高产品的合格率。然后通过反复的试验验证和膜系修正,最终达到产品的实际生产需要。