窄带干涉滤光膜光谱曲线变形分析与修正技术

摘要

随着光学薄膜技术的飞速发展,窄带干涉滤光膜已在光通讯、光谱学、医药学、激光技术、天文物理、物质分析等各个领域得到了广泛的应用,其主要作用是对光进行光谱选择,使需要的光通过,不需要的光截止,提高系统信噪比.通过研究窄带干涉滤光膜系设计、特征参数、实际制备中工艺参数变化规律后,分析了光谱曲线变形原因,提出了电子枪蒸发源蒸发特性变化引起的多个半波间中心波长不重合是导致光谱曲线变化出现塌峰现象的主要原因,在制备过程中修正厚度系数后,所制备出的光谱曲线与理论相符.