声表面波气体传感器异常响应的理论研究

摘要

本文基于WO3/ZnO/Si三层模型，用传递矩阵法模拟WO3敏感层电导率变化所引起的传感器中心频率的变化情况，即电导率灵敏度，证明在吸附被测气体后，表面电导率的上升会引起中心频率下降，而表面电导率的下降则会引起中心频率的上升，即可能出现异常响应。