掺镧钛酸钡薄膜介电性能研究

摘要

钛酸钡薄膜是一种典型的铁电薄膜材料.采用溶胶撇法分别制备掺钢1％和10％的BTO薄膜.X射线衍射图表明两种薄膜都具有钙钛矿结构.介电性能测试结果表明，随着频率升高，两种BTO薄膜的电容均逐渐减小，而损耗均先减小，再在10 kHZ附近开始逐渐增大：在较低频段，掺杂10％的B1D薄膜的电容较大，在100 kHZ附近两种薄膜的电容大小相等;在500 HZ以下两种薄膜的损耗大小相等，而在较高频段掺杂10％的BTO薄膜的损耗较大.