高介电常数聚酰亚胺/钛酸钡杂化薄膜的制备及性能研究

摘要

采用两相法制备油酸(OA)包覆的钛酸钡(BaTiO3)纳米晶,将OA表面的双键进行氧化反应使OA改性,将改性后的BaTiO3纳米晶与聚酰胺酸(PAA)接枝,采用旋涂以及烧结工艺制备聚酰亚胺(PI)/BaTiO3杂化薄膜.并且对杂化薄膜进行形貌、电性能等表征.结果表明,改性后的纳米晶能均匀地分散在PI基体中,并且PI/BaTiO3杂化薄膜的相对介电常数随着BaTiO3纳米晶体积分数的增加而增加,可达到PI薄膜的14倍,在微电子领域具有广阔应用前景.