全金属气体微流量计波纹管变容室截面面积的测量

摘要

为了研制全金属气体微流量计，本文设计了以波纹管为主体的全金属结构的变容室，并对波纹管变容室截面面积进行了测量。采用了多项式拟合公式对波纹管截面面积进行了修正，避免波纹管非线性的影响，结果表明修正偏差小于0.16％，截面面积的测量结果合成标准不确定度小于0.53％，可以满足使用要求。