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直流磁控溅射Al/Ni-Cu/Ag膜制备BaTiCO3系PTC发热陶瓷电极

摘要

采用直流磁控溅射技术制备了BaTiO3,系PTC发热陶瓷的多层膜系结构电极。用扫描电镜对溅射的膜层进行观察,发现膜层致密,厚度均匀,与瓷片接触性好,并与瓷片表面形貌有较好的一致性.实验表明,当电极的膜系结构为Al/Ni-Cu/Ag时,电极能与BaTiO3系PTC发热陶瓷形成的欧姆接触电阻小于0.4Ω结合力大于6.5MPa,电极能承受450℃5秒的高温无铅焊锡熔蚀.经250℃10小时老化后,欧姆接触电阻几乎没有变化.

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