三倍频射频功率源对GDP及Br—GDP薄膜热稳定的影响研究

摘要

本文采用RF-PECVD方法，以溴乙烷(C2H5Br)、反式-2-丁烯(T2B)为单体，氢气(H2)为载气，13.56MHz, 40.68MHz高频电源为功率源，利用美国TA公司SDT Q600同步热分析仪对系列Br-GDP薄膜进行热稳定性分析。考察结果显示:40.68MHz进口电源对Br-GDP薄膜热稳定性提高有所帮助，结合实验参数条件的调节有望将Br-GDP薄膜热稳定性由目前的100℃左右提高至200℃左右甚至更高。