低温红外技术在半导体硅材料检测中的应用

摘要

随着分析技术的发展,傅立叶交换红外光谱仪不仅可用于有机分子的定性分析,也可根据样品中杂质的峰面积等条件用于定量分析.当红外光谱仪的样品室和检测器处于低温条件下时,仪器性能可得到显著提升.太阳能可再生资源发展的日益成熟,对半导体硅材料产品质量的分析提出了更高的要求,而低温傅立叶交换红外仪在硅材料方面的成功应用,则填补了这一空白.