薄膜全耗尽SOI门阵列电路设计与实现

摘要

在Ｄａｉｓｙ系统上设计出通用性强、使用方便的ＳＯＩ门阵列母版及门阵列电路，并采用１．５ｕｍＣＭＯＳ／ＳＯＩ工艺在薄膜全耗尽ＳＩＭＯＸ材料上得以实现，其中包括多种分频器电路和环形振荡器，环振可工作在２．５Ｖ，门延误时间在５Ｖ时为４３０ｐｓ。