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METAL MIRROR BASED MULTISPECTRAL FILTER ARRAY AND METHOD FOR PREPARING A SENSOR DEVICE WITH A MULTI SPECTRAL FILTER ARRAY

机译:基于金属镜的多光谱滤波器阵列和用于制备具有多光谱滤波器阵列的传感器装置的方法

摘要

The device may include an array of multispectral filters disposed on a substrate. The multispectral filter array may include a first metal mirror disposed on a substrate. The multispectral filter may include spacers disposed on the first metal mirror. A spacer may comprise a set of layers. The spacer may include a second metal mirror disposed on the spacer. The second metallic mirror may be aligned with two or more sensor elements of the set of sensor elements.
机译:该装置可包括布置在基板上的多光谱滤波器阵列。多光谱滤波器阵列可包括布置在衬底上的第一金属镜。多光谱滤波器可以包括设置在第一金属镜上的间隔物。间隔物可以包括一组层。间隔物可以包括设置在间隔物上的第二金属镜。第二金属镜可与传感器元件组中的两个或更多个传感器元件对准。

著录项

  • 公开/公告号KR20220038327A

    专利类型

  • 公开/公告日2022-03-28

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 비아비 솔루션즈 아이엔씨.;

    申请/专利号KR1020220032590

  • 发明设计人 오큰푸스 조지 제이.;

    申请日2022-03-16

  • 分类号G01J3/12;G01J3/02;G01J3/26;G01J3/28;G01J3/36;G02B5/20;G02B5/28;H01L27/146;

  • 国家 KR

  • 入库时间 2022-08-25 00:16:24

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