公开/公告号US2022100085A1
专利类型
公开/公告日2022-03-31
原文格式PDF
申请/专利权人 SAMSUNG SDI CO. LTD.;
申请/专利号US202117487515
发明设计人 YOUNG LEE;SUNDAE KIM;YEJI YANG;CHAEHYUK KO;IEJU KIM;ARUM YU;MYUNGHO CHO;XINHUI FENG;JUNGSUN LEE;
申请日2021-09-28
分类号G03F7;G03F7/027;G02B1/04;H01L27/146;
国家 US
入库时间 2022-08-25 00:11:21