公开/公告号US2022032282A1
专利类型
公开/公告日2022-02-03
原文格式PDF
申请/专利权人 ENTEGRIS INC.;
申请/专利号US202117503986
申请日2021-10-18
分类号B01J47/12;B01D67;B01D69/02;B01D71/68;B01D71/78;B01J39/05;B01J39/19;B01J41/07;B01J41/13;C08G81/02;C08J5/22;C08J7/12;
国家 US
入库时间 2022-08-24 23:37:07