公开/公告号US11239083B2
专利类型
公开/公告日2022-02-01
原文格式PDF
申请/专利号US202016740878
申请日2020-01-13
分类号H01L21/02;H01L21/28;H01L21/8238;G03F7/09;H01L29/66;H01L21/027;H01L21/3213;H01L27/092;H01L29/08;H01L29/49;G03F7/16;G03F7/20;G03F7/26;H01L21/32;H01L21/30;H01L21/3205;H01L21/324;
国家 US
入库时间 2024-06-14 22:43:43