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PEROVSKITE-CONTAINING SCINTILLATORS AND METHODS OF MAKING THE SAME

机译:含钙钛矿的闪烁体和制造方法

摘要

An aspect of the present disclosure is a method of making a device, wherein the method includes, in order, depositing a layer of a photoresist onto a substrate, depositing a mask onto the photoresist, developing the photoresist, resulting in the forming of a grid having a plurality of cavities, and depositing a semiconductor onto the grid, resulting in substantially filling each cavity with the semiconductor.
机译:本公开的一个方面是制造装置的方法,其中,该方法以顺序包括将光致抗蚀剂层沉积到基板上,将掩模沉积到光致抗蚀剂上,显影光致抗蚀剂,从而形成栅格的形成 具有多个空腔,并将半导体沉积到栅格上,导致与半导体基本上填充每个腔。

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