公开/公告号US2022002883A1
专利类型
公开/公告日2022-01-06
原文格式PDF
申请/专利权人 APPLIED MATERIALS INC.;
申请/专利号US202117339411
发明设计人 ABHISHEK MANDAL;NITIN DEEPAK;NEHA GUPTA;PRERNA SONTHALIA GORADIA;ANKUR KADAM;KENICHI OHNO;DAVID ALEXANDER BRITZ;LANCE A. SCUDDER;
申请日2021-06-04
分类号C23G1/10;C23C16/02;C23C16/34;C23C16/40;C11D11;C11D7/32;C11D7/06;C11D7/08;B64F5/40;
国家 US
入库时间 2024-06-14 22:39:49