公开/公告号US2021405523A1
专利类型
公开/公告日2021-12-30
原文格式PDF
申请/专利权人 EXOGENESIS CORPORATION;
申请/专利号US202117222467
发明设计人 JOSEPH KHOURY;SEAN R. KIRKPATRICK;MICHAEL J. WALSH;JAMES G. BACHAND;ALLEN R. KIRKPATRICK;THOMAS J. WEBSTER;
申请日2021-04-05
分类号G03F1/80;H05H3/02;H01J37/317;H01L21/02;H01L21/265;H01L21/311;H01J37/05;H01J37/147;G03F1/82;
国家 US
入库时间 2022-08-24 23:07:41