公开/公告号US2021391492A1
专利类型
公开/公告日2021-12-16
原文格式PDF
申请/专利号US201917279158
发明设计人 ELMAR LOHMÜLLER;RALF PREU;PUZANT BALIOZIAN;TOBIAS FELLMETH;NICO WÖHRLE;PIERRE SAINT-CAST;ARMIN RICHTER;
申请日2019-09-24
分类号H01L31/18;H01L31/072;H01L21/78;
国家 US
入库时间 2022-08-24 22:51:18