公开/公告号WO2021173225A1
专利类型
公开/公告日2021-09-02
原文格式PDF
申请/专利权人 APPLIED MATERIALS INC.;
申请/专利号WO2020US67297
发明设计人 BERA KALLOL;GANTA SATHYA SWAROOP;FRANKLIN TIMOTHY JOSEPH;ALAYAVALLI KAUSHIK;DHANAKSHIRUR AKSHAY;GARNER STEPHEN C.;KUMAR BHASKAR;
申请日2020-12-29
分类号H01J37/32;C23C16/505;
国家 US
入库时间 2022-08-24 22:25:26