公开/公告号WO2021213813A1
专利类型
公开/公告日2021-10-28
原文格式PDF
申请/专利权人 ASML HOLDING N.V.;
申请/专利号WO2021EP59243
发明设计人 JUDGE ANDREW;KALLURI RAVI CHAITANYA;PAWLOWSKI MICHAL EMANUEL;WALSH JAMES HAMILTON;KREUZER JUSTIN LLOYD;
申请日2021-04-08
分类号G03F1/84;G01N21/88;G01N21/94;G03F7/20;
国家 EP
入库时间 2022-08-24 22:00:02