公开/公告号US11150287B2
专利类型
公开/公告日2021-10-19
原文格式PDF
申请/专利权人 FEMTOMETRIX INC.;
申请/专利号US202016841324
申请日2020-04-06
分类号G01R29/24;G01R31/308;G01R31/28;G01N21/63;G01N21/88;G01N21/95;G01N21/94;G01R31/265;G01R31/26;G01N27;H01L21/66;
国家 US
入库时间 2022-08-24 21:45:11