公开/公告号US2021313444A1
专利类型
公开/公告日2021-10-07
原文格式PDF
申请/专利权人 TOKYO ELECTRON LIMITED;
申请/专利号US202016841342
发明设计人 DAVID HURLEY;IOAN DOMSA;IAN COLGAN;GERHARDUS VAN DER LINDE;PATRICK HUGHES;MACIEJ BUREL;BARRY CLARKE;MIHAELA IOANA POPOVICI;LARS-AKE RAGNARSSON;
申请日2020-04-06
分类号H01L29/66;H01L21/02;H01L21/67;
国家 US
入库时间 2022-08-24 21:29:56