公开/公告号US11124659B2
专利类型
公开/公告日2021-09-21
原文格式PDF
申请/专利权人 LAM RESEARCH CORPORATION;
申请/专利号US201815883787
申请日2018-01-30
分类号B05D1/32;C09D5;C09D1;C01G25/02;C23C4/02;C23C4/12;C23C4/01;C01F7/02;C23C4/18;C23C4/10;C23C4/11;
国家 US
入库时间 2022-08-24 21:09:41