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TRADER WITH REGISTERED TRADE ACCESS

机译:商人与注册贸易访问

摘要

A rotational indexer is provided that may be rotated to move semiconductor wafers or other items between various stations arranged in a circular array; the items being moved may be supported by arms of the indexer during such movement. The rotational indexer may be further configured to also cause the items being moved to rotate about other rotational axes to cause rotation of the items relative to the arms supporting them.
机译:提供了一种旋转折射器,其可以旋转以使半导体晶片或在圆形阵列布置的各个站之间的其他物品之间移动; 在这种运动期间,可以通过索引器的臂来支持正在移动的项目。 旋转分子器还可以配置为也使得物品移动以围绕其他旋转轴旋转,以使物品相对于支撑它们的臂旋转。

著录项

  • 公开/公告号EP3738142A4

    专利类型

  • 公开/公告日2021-09-15

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 LAM RESEARCH CORPORATION;

    申请/专利号EP20190738454

  • 发明设计人 BLANK RICHARD M.;LEESER KARL F.;

    申请日2019-01-10

  • 分类号H01L21/677;H01L21/68;H01L21/687;

  • 国家 EP

  • 入库时间 2022-08-24 21:04:07

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