公开/公告号US2021255547A1
专利类型
公开/公告日2021-08-19
原文格式PDF
申请/专利权人 ASML NETHERLANDS B.V.;
申请/专利号US201916973395
发明设计人 JEROEN VAN DONGEN;WIM TJIBBO TEL;SARATHI ROY;YICHEN ZHANG;ANDREA CAVALLI;BART LAURENS SJENITZER;SIMON PHILIP SPENCER HASTINGS;
申请日2019-05-20
分类号G03F7/20;
国家 US
入库时间 2022-08-24 20:41:25