首页> 外国专利> A METHOD OF FORMING GRAPHENE NANOMESH

A METHOD OF FORMING GRAPHENE NANOMESH

机译:一种形成石墨烯NaNomesh的方法

摘要

The present invention relates to a method (100) of forming graphene nanomesh comprising the steps of providing an oxide layer on top of the substrate (101) as an insulating layer, depositing a metal seed layer on a substrate (102) via physical vapor deposition technique; and growing a graphene layer on the metal seed layer (103) via chemical vapor deposition, whereby said graphene layer grows into the graphene nanomesh on the metal seed layer. The method (100) further comprising a step of transferring the graphene nanomesh to another substrate (104).
机译:本发明涉及形成石墨烯NANMEL的方法(100),包括在基板(101)顶部的氧化物层作为绝缘层的步骤,通过物理气相沉积在基板(102)上沉积金属种子层技术;通过化学气相沉积在金属种子层(103)上生长石墨烯层,由此所述石墨烯层在金属种子层上生长到石墨烯NaNMESH中。该方法(100)还包括将石墨烯NaNOmsheh转移到另一个基板(104)的步骤。

著录项

相似文献

  • 专利
  • 外文文献
  • 中文文献
获取专利

客服邮箱:kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备:11010802029741号 ICP备案号:京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有
  • 客服微信

  • 服务号