公开/公告号WO2021078690A1
专利类型
公开/公告日2021-04-29
原文格式PDF
申请/专利权人 ASML NETHERLANDS B.V.;
申请/专利号WO2020EP79383
发明设计人 UEBEL PATRICK SEBASTIAN;GÖTZ PETER MAXIMILIAN;BAUERSCHMIDT SEBASTIAN THOMAS;BALTIS COEN HUBERTUS MATHEUS;RAVENSBERGEN JANNEKE;
申请日2020-10-19
分类号G02B6/02;G02B6/255;G02B6/38;
国家 EP
入库时间 2022-08-24 18:29:39