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COMMON PATH MODE FIBER TIP DIFFRACTION INTERFEROMETER FOR WAVEFRONT MEASUREMENT

机译:用于波前测量的公共路径模式光纤尖端衍射干涉仪

摘要

Reference and test waves are directed in a common path mode in a fiber tip diffraction interferometer. A first fiber can be used to generate the reference wave and a second fiber can be used to generate the test wave. Each fiber can include a single mode fiber tip that defines a wedge at an end without a coating on end surface or a tapered fiber tip. The fiber tip diffraction interferometer can include an aplanatic pupil imaging lens or system disposed to receive both the test wave and the reference wave and a sensor configured to receive both the test wave and the reference wave.
机译:参考和测试波被引导在光纤尖端衍射干涉仪中的公共路径模式。可以使用第一光纤来产生参考波,并且可以使用第二光纤来产生测试波。每个纤维可以包括单模光纤尖端,其在端面或锥形纤维尖端的涂层上限定楔形件。纤维尖端衍射干涉仪可以包括设置为接收测试波和参考波的抽取瞳孔成像透镜或系统,并且传感器被配置为接收测试波和参考波。

著录项

  • 公开/公告号US2021123716A1

    专利类型

  • 公开/公告日2021-04-29

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 KLA CORPORATION;

    申请/专利号US202016818050

  • 申请日2020-03-13

  • 分类号G01B9/02;G01M11/02;G01B11/255;

  • 国家 US

  • 入库时间 2022-08-24 18:25:48

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