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Substrate storage container management system, load port, and substrate storage container management method

机译:基板存储容器管理系统,负载端口和基板存储容器管理方法

摘要

A substrate storage container management system includes a load port, configured to transfer a substrate into and out of one or more substrate storage containers, including an ID reader configured to read one or more entity IDs for the substrate storage containers, and one or more sensors configured to directly or indirectly detect one or more states of the substrate storage containers, an associator configured to associate the entity IDs read by the ID reader with one or more sensor values detected by the sensors; a database in which data associated by the associator is accumulated, and a data processor configured to analyze the data in the database and to output a state of a respective substrate storage container for each of the entity IDs.
机译:基板存储容器管理系统包括负载端口,该负载端口被配置为将基板传送到一个或多个基板存储容器中,包括ID读取器,被配置为读取用于基板存储容器的一个或多个实体ID,以及一个或多个传感器被配置为直接或间接地检测基板存储容器的一个或多个状态,该枢经器被配置为将由ID读取器读取的实体ID与传感器检测的一个或多个传感器值相关联;其中累积由关联者关联的数据的数据库,并且数据处理器被配置为分析数据库中的数据并输出每个实体ID的各个基板存储容器的状态。

著录项

  • 公开/公告号US10978325B2

    专利类型

  • 公开/公告日2021-04-13

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 SINFONIA TECHNOLOGY CO. LTD.;

    申请/专利号US201916421733

  • 发明设计人 IZUMI ITO;TOMOYA MIZUTANI;

    申请日2019-05-24

  • 分类号H01L21/67;H01L21/677;G06K7/10;B65G1/137;

  • 国家 US

  • 入库时间 2022-08-24 18:10:48

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