公开/公告号EP3622276A4
专利类型
公开/公告日2021-03-24
原文格式PDF
申请/专利权人 KLA - TENCOR CORPORATION;
申请/专利号EP20180799085
发明设计人 BYKANOV ALEXANDER;ARTEMIEV NIKOLAY;DI REGOLO JOSEPH A.;GELLINEAU ANTONIO;KUZNETSOV ALEXANDER;VELDMAN ANDREI;HENCH JOHN;
申请日2018-05-10
分类号G01N23/223;G01N23/201;G01N23/2204;H01L21/68;H01L21/687;
国家 EP
入库时间 2022-08-24 17:53:17