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ONLINE MONITORING OF PRODUCTION PROCESSES USING ELECTRON PARAMAGNETIC RESONANCE(EPR)

机译:使用电子顺笔共振(EPR)在线监控生产过程

摘要

Certain aspects of the present disclosure provide methods and apparatus for closed-loop control of a system using one or more electron paramagnetic resonance (EPR) sensors located on-site. With such EPR sensors, a change can be applied to the system, the EPR sensors can measure the effect(s) of the change, and then adjustments can be made in real-time. This feedback process may be repeated continuously to control the system.
机译:本公开的某些方面提供了用于使用位于现场的一个或多个电子顺笔谐振(EPR)传感器的系统的闭环控制的方法和装置。利用这种EPR传感器,可以应用于系统的变化,EPR传感器可以测量变化的效果,然后可以实时进行调整。该反馈过程可以连续重复以控制系统。

著录项

  • 公开/公告号US2021072209A1

    专利类型

  • 公开/公告日2021-03-11

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 MICROSILICON INC.;

    申请/专利号US202016952826

  • 申请日2020-11-19

  • 分类号G01N33;E21B49/08;G01R33/60;G01V3/26;G01R33/24;G01R33/44;G01R33/36;G01V3/32;G01N24/10;

  • 国家 US

  • 入库时间 2022-08-24 17:38:36

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