公开/公告号US2021074505A1
专利类型
公开/公告日2021-03-11
原文格式PDF
申请/专利权人 APPLIED MATERIALS INC.;
申请/专利号US202017102051
发明设计人 ERIC KIHARA SHONO;VISHWAS KUMAR PANDEY;CHRISTOPHER S. OLSEN;HANSEL LO;AGUS SOFIAN TJANDRA;TAEWAN KIM;TOBIN KAUFMAN-OSBORN;
申请日2020-11-23
分类号H01J37/04;H01L21/67;H01J37/20;
国家 US
入库时间 2022-08-24 17:37:46