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SUBSTRATE-DECOUPLED HIGH-CORIOLIS-COUPLING PITCH/ROLL GYROSCOPE

机译:基质 - 去耦高精度偶联间距/卷陀螺仪

摘要

A microelectromechanical resonator includes a resonator member suspended over a surface of a substrate by at least one anchor that is connected to the substrate. The resonator member includes outer and inner frames that are concentrically arranged and mechanically coupled by support structures extending therebetween. Related apparatus and gyroscopes are also discussed.
机译:微机电谐振器包括通过连接到基板的至少一个锚固件悬挂在基板的表面上的谐振器构件。谐振器构件包括外部和内框架,该外框架具有同心地布置和机械地连接在其间的支撑结构。还讨论了相关的装置和陀螺仪。

著录项

  • 公开/公告号US2021063157A1

    专利类型

  • 公开/公告日2021-03-04

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 GEORGIA TECH RESEARCH CORPORATION;

    申请/专利号US201716644389

  • 发明设计人 HAORAN WEN;FARROKH AYAZI;

    申请日2017-09-07

  • 分类号G01C19/5684;G01C19/5698;B81B7/02;

  • 国家 US

  • 入库时间 2022-08-24 17:30:12

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