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机译:未校正色差的非平面光学系统的扫描应用
公开/公告号FR947067A
专利类型
公开/公告日1949-06-22
原文格式PDF
申请/专利权人
申请/专利号FRD947067
发明设计人 BILLARD PAUL-LOUIS;BOUTRY GEORGES-ALBERT;
申请日1947-05-14
分类号G02B21/02;
国家 FR
入库时间 2022-08-24 02:25:42
机译: 2透镜光学系统扫描型像差校正后的离子束装置,3透镜光学系统扫描型像差校正后的离子束装置和2透镜光学系统投影型像差校正后的离子束照相系统,3透镜装置类型像差校正的离子光刻设备
机译: 校正折射色差的扫描光学系统
机译: 衍射型色差校正扫描光学系统