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机译:用于检出大型工件的测量装置,例如火车的车轮蚀刻
公开/公告号DE1223164B
专利类型
公开/公告日1966-08-18
原文格式PDF
申请/专利权人 WALTER HESSE DIPL ING DR TECHN;
申请/专利号DE1957H030310
发明设计人 HESSE DIPL-ING DR TECHN WALTER;
申请日1957-06-04
分类号G02B21/00;
国家 DE
入库时间 2022-08-23 15:00:37
机译: 用于夹紧工件的真空吸管,测量装置和用于检查工件的方法,特别是晶片
机译: 用于夹持工件的真空吸盘,测量装置和检查工件,特别是晶片的方法
机译: 特殊晶圆中用于夹紧工件,测量装置的真空卡盘和用于检查工件的方法