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机译:通过气态化合物热分解制备单晶半导体的方法
公开/公告号DE1247278B
专利类型
公开/公告日1967-08-17
原文格式PDF
申请/专利权人 SIEMENS AG;
申请/专利号DE1962M054181
发明设计人 SCHAARSCHMIDT EDWARD CHRISTOPH;
申请日1962-09-08
分类号C30B25/02;H01L21/205;
国家 DE
入库时间 2022-08-23 14:07:52
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