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机译:通过电子束扫描研究表面功函数变化的方法和装置
公开/公告号US3337729A
专利类型
公开/公告日1967-08-22
原文格式PDF
申请/专利权人 THOMAS RICHARD E;HAAS GEORGE A;
申请/专利号US19640414483
发明设计人 THOMAS RICHARD E.;HAAS GEORGE A.;
申请日1964-11-27
分类号G01N27/00;G01Q60/00;H01J37/256;H01J37/28;
国家 US
入库时间 2022-08-23 13:42:56
机译: 通过电子束扫描研究表面的功函数分布和场分布的系统
机译: 通过电子束扫描研究半导体中的近表面电子性质
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