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机译：高效等离子体发生器的点火辅助
公开/公告号US3579027A
专利类型
公开/公告日1971-05-18
原文格式PDF
申请/专利权人 GEBR. BOHLER & CO. AG.;
申请/专利号USD3579027
发明设计人 MAXIMILIAN PATER;
申请日1968-03-04
分类号H01J7/30;
国家 US
入库时间 2022-08-23 09:06:33
机译： 用于表面等离子处理的设备，具有发电机和多个等离子发生器，其中等离子发生器在发生器的单独输出电压下连接或断开在一起
机译： 等离子点火器包括等离子火花塞和柄状中心电极，等离子点火器具有接地电极和用于隔离中心电极的隔离电极
机译： 等离子体点火器，使用等离子体的半导体生产装置以及用于半导体装置的等离子体点火方法
